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Product Center當前位置:首頁產品中心材料樣品檢測微型真空高低溫探針臺KT-Z4019MRL4T鉑金叉指電(dian)*低溫探(tan)針(zhen)臺
鉻(ge)金(jin)(jin)(jin)薄(bo)膜的(de)蒸鍍(du)生長。本文所研究的(de)叉(cha)指電(dian)極結構采用(yong)鉻(ge)、金(jin)(jin)(jin)材料制作(zuo)。首先(xian)需要(yao)在玻(bo)璃襯底上生長一(yi)(yi)層均勻覆蓋的(de)薄(bo)膜。將上一(yi)(yi)步(bu)工(gong)藝(yi)過程(cheng)中(zhong)清(qing)洗好(hao)的(de)玻(bo)璃片放入(ru)電(dian)子(zi)束蒸發鍍(du)膜機(ji)中(zhong),抽真空后,先(xian)蒸鍍(du) 50 厚度(du)的(de)鉻(ge)金(jin)(jin)(jin)屬層,再蒸鍍(du)1000Å 厚度(du)的(de)金(jin)(jin)(jin)層,后升溫(wen)到 300℃進行熱處理以增(zeng)強鉻(ge)金(jin)(jin)(jin)層的(de)黏附(fu)性(xing)。鉑金(jin)(jin)(jin)叉(cha)指電(dian)*低(di)溫(wen)探針臺是一(yi)(yi)款專門用(yong)于叉(cha)指電(dian)極的(de)經(jing)濟型探針臺。
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自動化度 | 手動 | 產地類別 | 國產 |
應用領域 | 化工,電子 |
鉻金薄膜的蒸鍍生長。本文所研究的叉指電極結構采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發鍍膜機中,抽真空后,先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層,再蒸鍍1000? 厚度的金層,后升溫到 300℃進行熱處理以增強鉻金層的黏附性。
紫外光(guang)刻(ke)(ke)。首先利用勻(yun)(yun)膠機在(zai)(zai)玻璃(li)襯底表面旋涂一層均勻(yun)(yun)的光(guang)刻(ke)(ke)膠,厚度(du)大約為 1~2μm,然后利用光(guang)刻(ke)(ke)機設備以(yi)及(ji)已制備好(hao)叉指電(dian)極(ji)圖形(xing)的光(guang)刻(ke)(ke)板(ban)在(zai)(zai)玻璃(li)片表面進(jin)行紫外曝(pu)光(guang)工藝,然后在(zai)(zai)顯影(ying)液中顯影(ying)得到掩(yan)模圖形(xing)。完(wan)成(cheng)光(guang)刻(ke)(ke)后,在(zai)(zai)鉻金金屬薄膜(mo)表面上就形(xing)成(cheng)光(guang)刻(ke)(ke)膠的電(dian)極(ji)圖案。
叉指電(dian)(dian)極(ji)是(shi)指狀(zhuang)或(huo)梳狀(zhuang)的(de)(de)面內有周期(qi)性圖案的(de)(de)電(dian)(dian)極(ji),它(ta)是(shi)通(tong)過電(dian)(dian)化學工藝加工獲(huo)得的(de)(de)超精(jing)細電(dian)(dian)路。作為(wei)電(dian)(dian)信號傳輸(shu)核(he)心部件(jian),廣泛應用(yong)于生物醫療(liao)檢(jian)測(ce)、環境在線監測(ce),食(shi)品安全(quan)檢(jian)測(ce),安全(quan)監測(ce)等重要領域。
鉑金叉指電*低溫探針臺
鉑金叉指電*低溫探針臺KT-Z4019MRL4T 參數
真空腔體 | ||
類(lei)型(xing) | 高溫型室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室(shi)溫到(dao)-196℃ |
腔體材(cai)質 | 304不銹鋼(gang) 6061鋁合金 可選(xuan) | |
腔體內(nei)尺寸(cun) | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體(ti)重量 | 不銹鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸(cun) | Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口(kou)和樣(yang)品之間距離) | |
腔體(ti)(ti)抽氣(qi)口 | KF16法蘭(lan)(其余接口規格可(ke)轉接) | |
腔體真空測量口 | KF16法蘭(其余(yu)接口規(gui)格可(ke)轉接) | |
腔體(ti)進氣(qi)口(kou) | 6mm快(kuai)擰 或 6mm快插 | |
腔體冷(leng)卻方式(shi) | 腔體水(shui)冷+上蓋氣冷 | |
腔體水(shui)冷接口 | ||
腔體正(zheng)壓 | ≤0.05MPa | |
腔(qiang)體(ti)真(zhen)空度 | 機(ji)械泵≤5Pa (5分(fen)鐘) 分(fen)子泵≤5E-3Pa(30分鐘) | |
樣(yang)品臺 | ||
樣品(pin)臺材質(zhi) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊(kuai) | 銀銅合金 純銀塊(kuai) |
樣(yang)品臺(tai)尺(chi)寸(cun) | 26x26mm | |
樣品臺(tai)加熱方式 | 電阻加(jia)熱 | 電阻加熱 液氮(dan)制冷 |
樣品臺(tai)-視窗 距離 | 11mm(可選配凹視窗用于減少(shao)窗口和(he)樣(yang)品之間距離到6mm) | |
樣品臺(tai)測(ce)溫傳感器(qi) | PT100型熱電阻(zu) | |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室(shi)溫到(dao)400℃ 室溫(wen)到-196℃ |
樣(yang)品(pin)臺測溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺升溫(wen)速(su)率 | 高溫(wen)100℃/min 最(zui)大值 低溫7℃/min | |
溫控(kong)儀 | ||
溫度(du)顯示 | 7寸人(ren)機界面(mian) | |
溫控(kong)類(lei)型(xing) | 標準PID溫(wen)控 +自整定 | |
溫度分辨(bian)率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫(wen)度信號輸入類(lei)型 | PT100 (可選K S B型(xing)熱電(dian)偶) | |
溫控(kong)輸出 | 直流線性(xing)電源加熱 | 直流線性(xing)電源加熱+液氮流速控(kong)制器 |
輔助功能(neng) | 溫度數據采集并導(dao)出 實(shi)時溫(wen)度(du)曲線+歷史溫度(du)曲線 可擴(kuo)展真(zhen)空讀數接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針(zhen) | ||
電信號接頭(tou) | 配(pei)線轉接(jie) BNC接頭 BNC三同(tong)軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 | |
電學性(xing)能(neng) | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓(ya) ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數量 | 4探針(可擴(kuo)展5探針(zhen)) | |
探針材(cai)質 | 鍍金(jin)鎢針 (其(qi)他材(cai)質可選) | |
探針尖 | 10μm | |
手動探針(zhen)移動平臺 | ||
X軸移動行程 | 20mm ±10mm(需(xu)手(shou)動推(tui)動滑臺) | |
X軸控制精(jing)度 | ≥500μm | |
R軸移動行(xing)程(cheng) | 120° ±60°(需手動旋轉(zhuan)探針桿) | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸(zhou)移(yi)動行程(cheng) | 2mm ±1mm | |
Z軸(zhou)控(kong)制精度 | ≤50μm(需手動螺紋調節探針(zhen)桿) |