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產品簡介
微型低(di)溫(wen)(wen)探(tan)針(zhen)冷臺，可定低(di)溫(wen)(wen)制探(tan)針(zhen)臺系統(tong)，整套系統(tong)包括探(tan)針(zhen)臺真空腔主體(ti)、鐵(tie)制抗震支架、進口分(fen)子泵機組、視頻顯微鏡、探(tan)針(zhen)、智能溫(wen)(wen)控儀(yi)等(deng)配置
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相關(guan)文(wen)章| 品牌 | 鄭科探 | 腔體材質 | 304不銹鋼 |
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微型低溫探針冷臺,可定低溫制探(tan)針臺系(xi)統，整套系(xi)統包括(kuo)探(tan)針臺真空腔主體、鐵制抗(kang)震支架、進(jin)口(kou)分子(zi)泵機(ji)組(zu)、視頻顯微鏡、探(tan)針、智能溫控儀(yi)等配置
一部分：系統及指標描述
1、總體規(gui)格
尺(chi)寸(cun)：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）
自重：約80Kg
2、結構與特點
（1）真空腔(qiang)體：真空度優(you)于6×10-4Pa。降溫后優于6×10-5Pa。留有(you)2個用戶法蘭接口（可接入(ru)氣體或者額外的電(dian)纜）
（2）探針控制：標配4個探針臂。調節范圍x軸12mm ±6mm，y軸12mm ±6mm，z軸12mm ±6mm，調節精度≤5μm。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜
（3）顯(xian)微鏡模塊：連續變倍(bei)單筒顯(xian)微鏡，光(guang)學放大倍(bei)率：0. 5X~3. 75X（使用0. 75X附加物(wu)鏡時），視頻放大倍(bei)率約700倍(bei)。可(ke)選2X附加物(wu)鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭，帶(dai)同軸(zhou)照(zhao)明(ming)和環形照(zhao)明(ming)，帶(dai)機械調焦和光(guang)學調焦；
（4）變溫(wen)(wen)樣品(pin)臺(tai)：50mm直徑。變溫(wen)(wen)范圍：80K~400K。控溫(wen)(wen)穩(wen)定(ding)性(xing)優于±0.01K
（5）可選(xuan)配接入光(guang)纖(xian)(xian)，可將一根或幾根電(dian)學探針替換為光(guang)纖(xian)(xian)
（6）系統(tong)直(zhi)流(liu)漏電(dian)低(di)于(yu)10pA
3、含進口分子(zi)泵機組(zu)、全量程真空(kong)規和智(zhi)能溫控儀
4、設(she)備照片（因配(pei)置不(bu)同，照片僅(jin)供參考）
微型低溫探針冷臺
技術參數；
真空腔體 | |
類型 | 加熱型350℃ 或者加熱(re)制冷型 室(shi)溫到350℃ 室溫到-190℃ |
腔體材質(zhi) | 304不銹鋼 |
腔體(ti)內尺寸 | φ90x40mm |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm） |
腔體抽(chou)氣口 | KF16 |
腔(qiang)體進氣口(kou) | 公制3mm 6mm氣管接頭(tou) 英(ying)制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體(ti)出氣口 | 公制(zhi)3mm 6mm氣管接(jie)頭 英(ying)制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選(xuan) |
腔體(ti)(ti)正壓 | ≤0.05MPa |
腔體真空度(du) | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
樣(yang)品臺 | |
樣品臺材質 | 304不(bu)銹鋼 |
樣品臺尺(chi)寸 | 26X26mm |
樣品臺(tai)-視(shi)窗(chuang) 距離 | 30mm（可選凹視窗間(jian)距15mm） |
樣品臺測(ce)溫傳感器 | A 級(ji)PT100鉑電(dian)阻 |
樣品臺溫度(du) | 室溫到(dao)350℃（可選(xuan)高低溫(wen)樣品臺 高溫350℃低溫-190℃） |
樣品(pin)臺(tai)測溫誤(wu)差 | ±0.2℃ |
樣品臺變溫(wen)速率 | 高溫10℃/min 低溫(wen)5℃/min 最(zui)大值(zhi) |
溫控儀 | |
溫(wen)度(du)顯(xian)示 | 7寸人機界面 |
溫控類型 | 標(biao)準PID溫控 +自(zi)整定（可選30段編程控溫(wen)） |
溫度分辨(bian)率 | 0.1℃ |
溫控(kong)精(jing)度 | ±0.5℃ |
溫(wen)度信號輸入類型 | PT100熱(re)電阻 （可(ke)選(xuan) K S B型熱電(dian)偶） |
溫控輸(shu)出 | 直(zhi)流(liu)線(xian)性電源加熱（液氮流(liu)量線(xian)性控制(zhi)液氮制(zhi)冷） |
輔助功能 | 溫(wen)度數據采集(ji)并導出 實時溫度曲線+歷史溫(wen)度曲(qu)線 |
探針 | |
電信號接頭(tou) | 配線轉接 BNC接頭 BNC三同(tong)軸(zhou)接頭 SMA 接頭 香(xiang)蕉插頭(tou) 線長1.2米 |
電學(xue)性能 | 絕緣電阻(zu) ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
探針數量 | 4探針（可定做(zuo)6探針） |
探針材質 | 鍍金鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移(yi)動(dong)平臺 | |
X軸(zhou)移(yi)動行程 | 12mm ±6mm |
X軸控(kong)制精度(du) | ≤5μm |
Y軸(zhou)移(yi)動(dong)行程 | 12mm ±6mm |
Y軸(zhou)控制精度 | ≤5μm |
Z軸移(yi)動行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精度(du) | ≤5μm |
數(shu)碼顯(xian)微鏡 | |
顯微(wei)鏡類別 | 物鏡放大+電(dian)子放大 |
顯微鏡放(fang)大倍數 | 100倍 |
顯微(wei)鏡工(gong)作間距 | 50-150mm |
相機分辨率 | 1080P 60幀(zhen) |
相機(ji)信號輸出(chu) | HDMI輸出+USB輸出 |
LED可調光源 | LED光源(yuan) |
顯示(shi)屏 | 5寸 屏幕(mu)一體機 |
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