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Product Center小(xiao)型真(zhen)空(kong)探針臺高溫(wen)(wen)熱臺KT-0904T-R主要用于為被(bei)測芯片(pian)(pian)提供一個高溫(wen)(wen)的變溫(wen)(wen)測量環境,以便測量分析溫(wen)(wen)度變化(hua)時(shi)芯片(pian)(pian)性能參數的變化(hua)。腔體內被(bei)測芯片(pian)(pian)在真(zhen)空(kong)環境中有效避免易受氧化(hua)半導體器件接觸空(kong)氣所帶來的測試(shi)結(jie)果(guo)誤差。
品牌 | 鄭科探 |
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小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-R
高溫無氧化測試:
當晶圓(yuan)加(jia)熱至300℃,400℃,500℃甚至更(geng)高溫度時,氧化現象會
越來(lai)越明顯,并且(qie)溫度越高氧化越嚴(yan)重。過度氧化會導致(zhi)晶圓電性誤
差,物理(li)和(he)機械形(xing)變。避免這些需要把真空腔(qiang)內的氧氣(qi)在測試前用泵
抽(chou)走(zou),并且(qie)保持整個(ge)測(ce)(ce)試(shi)過(guo)程泵的運(yun)轉。晶圓測(ce)(ce)試(shi)過(guo)程中(zhong)溫度在低溫和高溫中(zhong)變換,因為熱脹冷縮現象,定(ding)位(wei)好的探針(zhen)(zhen)與器件電極間(jian)會有相對位(wei)移(yi),這時需要針(zhen)(zhen)座(zuo)的重新定(ding)位(wei),探針(zhen)(zhen)座(zuo)位(wei)于(yu)腔體外部(bu),可(ke)以(yi)在不破壞真空度的同時調(diao)整探針(zhen)(zhen)達到理想位(wei)置進行(xing)測(ce)(ce)量。我們也可(ke)以(yi)選擇(ze)使(shi)用操(cao)作桿控(kong)制的自動化(hua)針(zhen)(zhen)座(zuo)來調(diao)整探針(zhen)(zhen)的位(wei)置。
小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-RL參數
真空腔體 | |
類型 | 加熱型350℃ 或者(zhe)加熱(re)制(zhi)冷型 室(shi)溫(wen)到350℃ 室溫(wen)到-190℃ |
腔體(ti)材質 | 304不銹鋼 |
腔體內尺寸(cun) | φ90x40mm |
腔體上(shang)視窗尺寸 | Φ42mm(選配凹視(shi)窗Φ22mm) |
腔體(ti)抽氣口 | KF16 |
腔(qiang)體進氣(qi)口 | 公制3mm 6mm氣(qi)管接頭 英(ying)制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選(xuan) |
腔體(ti)(ti)出氣口 | 公制(zhi)3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可(ke)選(xuan) |
腔體正壓(ya) | ≤0.05MPa |
腔體真(zhen)空(kong)度 | 機(ji)械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵(beng)≤5E-3Pa(30分鐘) |
樣品(pin)臺 | |
樣品臺材(cai)質 | 304不銹鋼 |
樣品臺尺寸(cun) | 26X26mm |
樣品臺-視(shi)窗 距(ju)離 | 30mm(可(ke)選凹視窗間距(ju)15mm) |
樣品臺測(ce)溫傳感器(qi) | A 級PT100鉑電阻(zu) |
樣品臺(tai)溫度(du) | 室溫(wen)到350℃(可選高低(di)溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃) |
樣品臺(tai)測(ce)溫誤(wu)差(cha) | ±0.2℃ |
樣品臺變(bian)溫速(su)率 | 高溫10℃/min 低(di)溫5℃/min 最大值 |
溫控儀 | |
溫(wen)度顯示 | 7寸人機界(jie)面 |
溫(wen)控類型 | 標準PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫) |
溫度分辨率(lv) | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.5℃ |
溫度信號輸入類型 | PT100熱電阻 (可選 K S B型熱電(dian)偶(ou)) |
溫控輸出 | 直流線性電(dian)源加熱(液(ye)氮(dan)流量線性控(kong)制(zhi)液(ye)氮(dan)制(zhi)冷) |
輔助功能 | 溫(wen)度數(shu)據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 |
探針 | |
電信號接頭 | 配線轉接 BNC接(jie)頭 BNC三同軸接頭(tou) SMA 接頭 香蕉(jiao)插頭 線(xian)長(chang)1.2米(mi) |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介(jie)質耐壓 ≤200V 電流(liu)噪(zao)聲(sheng) ≤10pA |
探(tan)針數量 | 4探針(可定做6探針) |
探(tan)針材質 | 鍍金鎢(wu)針 |
探針尖 | 10μm |
探針(zhen)移(yi)動平臺 | |
X軸移動行程 | 12mm ±6mm |
X軸控(kong)制精(jing)度 | ≤5μm |
Y軸移動行程 | 12mm ±6mm |
Y軸控制(zhi)精度 | ≤5μm |
Z軸移動行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精度 | ≤5μm |
數碼(ma)顯微鏡 | |
顯(xian)微(wei)鏡(jing)類別(bie) | 物鏡(jing)放大+電子放(fang)大 |
顯微鏡放大倍數 | 100倍 |
顯(xian)微鏡工作間距 | 50-150mm |
相機(ji)分辨率 | 1080P 60幀 |
相機信號輸出 | HDMI輸出+USB輸(shu)出 |
LED可(ke)調光源 | LED光(guang)源 |
顯示屏 | 5寸 屏幕一(yi)體機(ji) |