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產品簡介
小型真空鎢(wu)舟熱蒸鍍儀(yi)KT-Z1650CVD是一款(kuan)小型多功(gong)能(neng)(neng)鍍膜儀(yi)，額定1800度高(gao)溫，自(zi)動(dong)樣(yang)品(pin)擋板(ban)，靶臺旋轉，觸摸屏(ping)多段(duan)控(kong)制，工藝(yi)儲存等功(gong)能(neng)(neng)。
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相(xiang)關文章| 品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子 |
小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD
是一款小型多(duo)功能鍍膜(mo)儀，額定1800度高(gao)溫(wen)，自動樣(yang)品擋板(ban)，靶臺旋轉，觸摸(mo)屏多(duo)段控制，工藝儲存等功能。
（3）蒸發(fa)原子或(huo)分(fen)子在基片表(biao)面張(zhang)得沉積過程。即是蒸發(fa)，凝聚，成核，核生長，形成連續的膜(mo)。由于基板溫(wen)度遠(yuan)
低于基板溫(wen)度遠低于(yu)蒸發源溫(wen)度，因此，氣態(tai)分子在基片(pian)表面將(jiang)發生(sheng)直接由氣態(tai)到固態(tai)的相(xiang)轉變(bian)過程(cheng)。
以下是不同(tong)真空(kong)度 不同(tong)鍍膜時間鍍銅樣(yang)品圖
原樣品沒有鍍膜 
115A 100秒 機械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 
115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易(yi)氧化 越接近金屬本(ben)色
小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD
控制方式 | 7寸(cun)人機(ji)界(jie)面 手(shou)動 自動模(mo)式切換控制 |
加熱方式(shi) | 數字式功率調整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最(zui)大功率 | ≤1200W |
最大輸出電(dian)壓電(dian)流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電(dian)控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （最大可安裝φ50基底） |
樣品臺轉速(su) | 8轉/分鐘 |
樣品蒸發源調節距離 | 70-140mm |
蒸發溫度調節(jie) | ≤1800℃ |
支持蒸(zheng)發(fa)坩堝類型(xing) | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預留真空(kong)接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配(pei)擴展 | 機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
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