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產品簡介
mini型磁(ci)控濺射儀KT-Z1650PVD，桌面式(shi)設計小巧卻(que)功(gong)能(neng)齊全。觸摸屏控制功(gong)率，樣品臺0-8轉/分旋(xuan)轉，自動電(dian)動樣品擋板等。
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求通氣 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
| 靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 等 | 價格區間 | 面議 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD，該設備集磁控濺射與離子鍍膜技術為一體，對提高顏色一致性、沉積速率及化合物成份的穩定性提供了解決方案。設備具有外形美觀、結(jie)構緊湊(cou)、占地(di)面(mian)積小、自動化程(cheng)度高、操作簡單靈活、性(xing)能穩定(ding)、易維護等特點(dian)。設備可適用(yong)于不銹鋼、水鍍五金(jin)件/塑膠件、玻璃、陶(tao)瓷等材質(zhi)；可制備單質(zhi)金(jin)屬(shu)層如鈦、鉻、銀、銅或金(jin)屬(shu)化合物膜層如TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC等；可實現深黑色、爐內金(jin)(jin)、玫瑰(gui)金(jin)(jin)、仿金(jin)(jin)、鋯金(jin)(jin)、寶石(shi)藍、亮銀色等(deng)顏色。
mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應技術參數；
控(kong)制方式(shi) | 7寸人機界面 手動(dong) 自動(dong)模式切換控制(zhi) |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能(neng) | 0-999秒5段(duan)可變(bian)換(huan)功率及擋(dang)板位和樣品速(su)度程序(xu) |
功率 | ≤1000W |
輸出電(dian)壓電(dian)流 | 電(dian)壓≤1000V 電(dian)流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘(zhong)） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板(ban)類型 | 電控 |
真空腔室(shi) | 石英+不銹(xiu)鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣(yang)品(pin)臺 | 可旋轉φ62 （可安裝(zhuang)φ50基底(di)） |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘(zhong) |
樣品濺射源調節距(ju)離 | 40-105mm |
真空(kong)測量 | 皮(pi)拉尼真空計（已安(an)裝 測(ce)量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留(liu)真空接(jie)口 | KF25抽氣口(kou) KF16放氣口(kou) 6mm卡套進氣口(kou) |
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