類型

高溫型室溫到350℃

高(gao)低溫(wen)型 室溫(wen)到(dao)(dao)350℃   室溫(wen)到(dao)(dao)-196℃

腔體(ti)材質

304不銹(xiu)鋼 6061鋁合(he)金 可選

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔(qiang)體重量

不銹鋼材質(zhi) 約(yue)1.5KG     鋁合(he)金材質(zhi) 約(yue)0.5KG

腔體上(shang)視窗(chuang)尺寸

Φ42mm（可選(xuan)配凹視窗(chuang)用于減少窗(chuang)口和樣品之間距離）

腔(qiang)體抽氣口

KF16法蘭（其余接(jie)口規格可轉(zhuan)接(jie)）

腔體真(zhen)空測量口

KF16法蘭（其余接口規格可(ke)轉(zhuan)接）

腔體進氣口

6mm快(kuai)擰 或 6mm快(kuai)插

腔體冷卻方式(shi)

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔(qiang)體真(zhen)空度

機械泵(beng)≤5Pa （5分(fen)(fen)鐘）  分(fen)(fen)子泵(beng)≤5E-3Pa（30分(fen)(fen)鐘）

樣(yang)品(pin)臺

樣品臺材質(zhi)

不銹鋼 銀銅(tong)合金 純銀塊

銀銅合金(jin) 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱(re)方(fang)式

電阻加熱

電(dian)阻(zu)加熱 液氮(dan)制冷

樣(yang)品臺(tai)-視窗 距離

11mm（可選(xuan)配凹(ao)視窗(chuang)用于減少窗(chuang)口和樣(yang)品之間距離到6mm）

樣(yang)品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度(du)

室溫到400℃

室(shi)溫到(dao)400℃   室(shi)溫到(dao)-196℃

樣(yang)品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺升溫(wen)速率

高溫(wen)100℃/min    低溫(wen)7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫(wen)控(kong) +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精(jing)度

±0.5℃

溫度信號輸入(ru)類型

PT100 （可選(xuan)K  S  B型熱電偶）

溫控輸(shu)出

直流(liu)線性電源加熱

直流線性電源加熱+液(ye)氮流速控制(zhi)器(qi)

輔助功能

溫度(du)數(shu)據采集并(bing)導出 實時溫度(du)曲(qu)(qu)線(xian)(xian)+歷史溫度(du)曲(qu)(qu)線(xian)(xian) 可擴展(zhan)真(zhen)空讀數(shu)接口

溫控器(qi)尺(chi)寸

32cmX170cmX380cm

溫控器(qi)重量(liang)

約5.6KG

探針(zhen)

電信號接頭

配線(xian)轉(zhuan)接(jie) BNC接(jie)頭   BNC三同(tong)軸接(jie)頭  SMA 接(jie)頭 香蕉插(cha)頭 線(xian)長1.2米(mi)

電學性能(neng)

絕緣(yuan)電(dian)阻 ≥4000MΩ     介質耐壓(ya) ≤200V    電(dian)流噪(zao)聲 ≤10pA

探針數量

4探針（可擴展5探針）

探針材(cai)質

鍍(du)金鎢針(zhen) （其他材質可選(xuan)）

探(tan)針尖

10μm

手動(dong)探針移動(dong)平臺

X軸移動行(xing)程

20mm    ±10mm（需手動(dong)推動(dong)滑臺(tai)）

X軸控制(zhi)精度(du)

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°（需(xu)手動旋轉探針(zhen)桿）

R軸(zhou)控制精度

≥500μm

Z軸移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度(du)

≤50μm（需手動(dong)螺紋調節(jie)探(tan)針(zhen)桿）