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Product Center高溫蒸(zheng)鍍儀(yi),KT-Z1650CVD,石英+不銹鋼腔體,觸摸屏(ping)控制,工藝(yi)儲(chu)存功能,自動電控擋(dang)板保護樣(yang)品
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相關文(wen)章品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 綜合 |
高溫蒸鍍儀,KT-Z1650CVD,石英+不銹鋼腔體,觸摸屏(ping)控(kong)制(zhi),工藝儲存功能(neng),自動電控(kong)擋板保(bao)護(hu)樣品
在厚度為(wei)2nm (20埃)或更厚時膜是(shi)連續的。通常的沉積形式是(shi)加熱碳(tan)或石墨棒。棒具有特定(ding)的形狀以達(da)到最(zui)大電(dian)流密度,使得它具有足夠(gou)的溫度來引起蒸發。基于(yu)這點,出現(xian)了細小的、亮(liang)的、熱的碳(tan)顆(ke)粒。此系統需要用(yong)擴散泵或渦輪分子(zi)泵達(da)到1x10-4 mbar或更高的真空(kong)度。
渦(wo)輪(lun)分子泵(beng)在K950X中作(zuo)為(wei)標準配置,此泵(beng)作(zuo)為(wei)機械真空(kong)(kong)泵(beng)的后級泵(beng),真空(kong)(kong)為(wei)全(quan)自動控制,真空(kong)(kong)度優于1x10-5 mbar。可進(jin)行預熱及除氣控制,同時用瞬時蒸發(fa)開關使脈(mo)沖蒸發(fa)在用戶控制下進(jin)行。
標準的旋(xuan)轉樣(yang)品臺(tai)可進行傾斜調節,非常容易適應各種(zhong)樣(yang)品座。
以下是不(bu)同真(zhen)空度 不(bu)同鍍(du)膜時間(jian)鍍(du)銅樣(yang)品(pin)圖
原樣品沒有鍍膜 115A 100秒 機械(xie)泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 115A 120秒 分子泵抽20分鐘(zhong)
真空度越高 越不易氧化 越接近金屬(shu)本色
高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD
控(kong)制方式 | 7寸人(ren)機(ji)界(jie)面(mian) 手動 自(zi)動模式(shi)切換控制 |
加熱方(fang)式 | 數字(zi)式功率調整器 |
鍍(du)膜功能(neng) | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度(du) | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
真(zhen)空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品(pin)臺 | 可旋轉φ62 (最大可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品蒸(zheng)發源調節距離 | 70-140mm |
蒸(zheng)發溫度調節(jie) | ≤1800℃ |
支(zhi)持蒸發坩堝類型(xing) | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預留(liu)真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選(xuan)配擴展 | 機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa) |