小型直流磁控濺射儀，

輕便、濺(jian)射面積(ji)大
靶材可按用(yong)戶要求加工制作(zuo)

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離(li)(li)子(zi)(zi)濺(jian)(jian)(jian)(jian)射(she)儀為(wei)(wei)一(yi)種(zhong)有著緊湊結構的(de)桌上型(xing)鍍(du)膜(mo)(mo)系統，對于掃描電鏡成像中非導電樣(yang)(yang)品高質量(liang)鍍(du)膜(mo)(mo)尤(you)為(wei)(wei)適用。試樣(yang)(yang)干(gan)燥(zao)清(qing)潔為(wei)(wei)離(li)(li)子(zi)(zi)濺(jian)(jian)(jian)(jian)射(she)鍍(du)膜(mo)(mo)的(de)基本要求。在(zai)必要時(shi)，交(jiao)換(huan)試樣(yang)(yang)與陰(yin)極的(de)位置利用火花(hua)放(fang)電從而對試樣(yang)(yang)表(biao)面進行清(qing)潔，之后試樣(yang)(yang)復(fu)原，再(zai)進行濺(jian)(jian)(jian)(jian)射(she)鍍(du)膜(mo)(mo)。鐵、鎳、銅鉛等為(wei)(wei)離(li)(li)子(zi)(zi)濺(jian)(jian)(jian)(jian)射(she)儀常(chang)用的(de)陰(yin)極材(cai)料，有時(shi)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也(ye)能夠作為(wei)(wei)陰(yin)極材(cai)料，氧氣為(wei)(wei)離(li)(li)子(zi)(zi)濺(jian)(jian)(jian)(jian)射(she)儀常(chang)用的(de)反應氣體

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小型直流磁控(kong)濺射儀技術參數；