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產品簡介
常高(gao)(gao)低三溫自動(dong)探針臺(tai)設備主要應用于傳感器(qi)(qi)，半導體，光電，集(ji)成(cheng)電路以(yi)及封裝的測(ce)試(shi)。 廣(guang)泛應用于復雜、高(gao)(gao)速器(qi)(qi)件的精密電氣測(ce)量(liang)的研發(fa)，旨在(zai)確保質量(liang)及可(ke)靠性，并(bing)縮減(jian)研發(fa)時間和器(qi)(qi)件制(zhi)造(zao)工(gong)藝的成(cheng)本。
| 品牌 | 鄭科探 |
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常高低三溫自動探針臺設備主要應用于傳感器，半導體(ti)，光電，集成(cheng)(cheng)電路以及(ji)封裝(zhuang)的(de)測試。 廣泛(fan)應用于復雜、高速器件的(de)精密電氣測量的(de)研發，旨在確保質量及(ji)可靠性(xing)，并縮減研發時間和器件制造工(gong)藝的(de)成(cheng)(cheng)本(ben)。
常高低三溫自動探針臺設備該(gai)探針(zhen)臺的承(cheng)載臺為60x60不銹鋼臺面，臺面最(zui)高(gao)可(ke)升溫到最(zui)高(gao)350℃。真空(kong)腔體設計有進(jin)氣口和抽(chou)真空(kong)接口。探針(zhen)臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可(ke)在真空(kong)環境下精密(mi)移位調(diao)(diao)節，其(qi)中X方向調(diao)(diao)節范圍(wei)(wei)：0－30mm；y方向調(diao)(diao)節范圍(wei)(wei)：0－20mm；z方向調(diao)(diao)節范圍(wei)(wei)：0－20mm；用戶可(ke)根(gen)據需要自行調(diao)(diao)節。使用時(shi)將需檢測(ce)(ce)的器件固定在加熱臺上，再微調(diao)(diao)探針(zhen)支架X/Y/Z 方向行程，通過(guo)顯微鏡觀(guan)察，使探針(zhen)對準檢測(ce)(ce)點(dian)后，即可(ke)進(jin)行檢測(ce)(ce)
腔體材質 | 304不銹鋼 |
上(shang)蓋開啟 | 鉸(jiao)鏈側開 |
加熱臺材質(zhi) | 304不(bu)銹鋼(gang) |
內腔(qiang)體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺(tai)尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱(re)臺間距 | 75mm |
加熱(re)臺溫度 | 35-350℃ |
加(jia)熱臺溫(wen)控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵(beng)≤10Pa 分子泵(beng)≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真(zhen)空抽(chou)氣(qi)口 | KF25真空法蘭 |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡(ka)套接頭 |
電(dian)信號接頭 | SMA轉BNC X 4 |
電學性(xing)能 | 絕(jue)緣電(dian)阻(zu) ≥4000MΩ 介質耐(nai)壓 ≤500V |
探針(zhen)數(shu)量(liang) | 4探針 |
探針(zhen)材質(zhi) | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動(dong)平臺 | |
X軸(zhou)移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精(jing)度 | ≤0.01mm |
Y軸移動(dong)行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸(zhou)控制精(jing)度 | ≤0.01mm |
電子顯(xian)微鏡 | |
顯微鏡(jing)類別 | 物鏡 |
物鏡(jing)倍數(shu) | 0.7-4.5倍 |
工作間(jian)距 | 90mm |
相機 | sony 高清(qing) |
像素 | 1920※1080像(xiang)素(su) |
圖像接口(kou) | VGA |
LED可調(diao)光源 | 有 |
顯示(shi)屏 | 8寸 |
放大倍數 | 19-135倍,視(shi)場(chang)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小(xiao)可分辨0.08mm |
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