類型(xing)

高溫(wen)型室溫(wen)到350℃

高低溫(wen)型(xing) 室溫到350℃  室溫到-196℃

腔體材質

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體(ti)內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹(xiu)鋼(gang)材質 約1.5KG     鋁(lv)合金材質 約0.5KG

腔體(ti)(ti)上視窗尺寸

Φ42mm（可選配(pei)凹(ao)視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

腔體抽氣口

KF16法(fa)蘭（其余接口規格可轉接）

腔體真空測量口(kou)

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體進氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體(ti)冷(leng)卻方(fang)式

腔體水冷(leng)+上蓋(gai)氣冷

腔體水(shui)冷接(jie)口(kou)

腔(qiang)體(ti)正壓

≤0.05MPa

腔體(ti)真空度

機械泵(beng)≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材質

不銹鋼 銀(yin)銅合金 純銀塊

銀銅合金(jin) 純(chun)銀塊

樣品臺(tai)尺(chi)寸

26x26mm

樣品臺加(jia)熱方式

電阻加(jia)熱

電阻加熱 液氮(dan)制(zhi)冷

樣(yang)品臺(tai)-視窗 距離

11mm（可選配凹視(shi)窗(chuang)用于減(jian)少(shao)窗(chuang)口和樣品之間距離(li)到6mm）

樣品臺(tai)測溫傳(chuan)感器

PT100型熱電(dian)阻(zu)

樣品(pin)臺溫度(du)

室溫(wen)到400℃

室溫到(dao)400℃  室(shi)溫到(dao)-196℃

樣品臺測(ce)溫誤差

±0.5℃

樣品臺(tai)升溫速率(lv)

高溫100℃/min  低溫(wen)7℃/min

溫控儀(yi)

溫(wen)度(du)顯示(shi)

7寸人機界面

溫(wen)控類型

標(biao)準(zhun)PID溫控(kong) +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控(kong)精度

±0.5℃

溫度信號輸入類(lei)型

PT100 （可選K  S  B型熱電偶）

溫控輸(shu)出(chu)

直(zhi)流線性電源加(jia)熱(re)

直流線性電源加(jia)熱+液氮流速控制器

輔(fu)助(zhu)功能

溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口

溫控(kong)器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探(tan)針

電信號接頭(tou)

配(pei)線(xian)轉接 BNC接頭   BNC三同軸接(jie)頭  SMA 接(jie)頭 香蕉插(cha)頭(tou) 線長1.2米(mi)

電學性(xing)能

絕緣電(dian)阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電(dian)流噪聲(sheng) ≤10pA

探(tan)針數量(liang)

4探針（可擴展5探針）

探針材質

鍍金鎢(wu)針 （其他材(cai)質可選(xuan)）

探針(zhen)尖

10μm

手(shou)動探針移動平(ping)臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需(xu)手動(dong)推動(dong)滑臺）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移(yi)動行程

120°    ±60°（需(xu)手動旋轉探針桿）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動行(xing)程

2mm    ±1mm

Z軸(zhou)控制精度

≤50μm（需手動螺(luo)紋調節探針桿）